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专利号:200810093274
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通过室部件引入处理流体的方法和系统

本发明描述了一种通过室部件引入处理流体的方法和系统。该室部件包括室元件,所述室元件包括处于所述室元件的供应侧的第一表面和处于所述室元件的处理侧的第二表面,所述处理侧与所述供应侧相反。此外,所述室部件包括螺旋通道,所述螺旋通道穿过所述室元件从所述供应侧延伸到所述处理侧,所述螺旋通道包括构造来接收处理流体的入口和构造来分配所述处理流体的出口。

通过室部件引入处理流体的方法和系统

一种室部件,其被构造来耦合到处理室,所述室部件包括:    室元件,所述室元件包括处于所述室元件的供应侧的第一表面和处于所述室元件的处理侧的第二表面,所述处理侧与所述供应侧相反;以及    螺旋通道,所述螺旋通道穿过所述室元件从所述供应侧延伸到所述处理侧,所述螺旋通道包括构造来接收处理流体的入口和构造来分配所述处理流体的出口。
 


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专利号: 200810093274
申请日: 2008年5月19日
公开/公告日: 2008年11月19日
授权公告日:
申请人/专利权人: 东京毅力科创株式会社
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 陈立、麦里特·法克
代理人: 柳春雷
专利代理机构: (11258)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 101308775
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 美国2007年5月18日11/750,539
审批历史:
附图数: 14
页数: 18
权利要求项数: 4
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